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发明名称 Electron beam drawing method
摘要
申请公布号 US4853549(A) 申请公布日期 1989.08.01
申请号 US19880178970 申请日期 1988.04.07
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 YANAGISAWA, AKIRA;NAKAMURA, KAZUMITSU
分类号 H01L21/027;H01J37/304;H01J37/317 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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