发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01191445(A) 申请公布日期 1989.08.01
申请号 JP19880016217 申请日期 1988.01.27
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 CHIBA KENICHI
分类号 H01L21/3205 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
地址