| 发明名称 |
THIN FILM-FORMING EQUIPMENT |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH01191780(A) |
申请公布日期 |
1989.08.01 |
| 申请号 |
JP19880018145 |
申请日期 |
1988.01.27 |
| 申请人 |
SEMICONDUCTOR ENERGY LAB CO LTD |
发明人 |
HIROSE NAOKI;INUSHIMA TAKASHI |
| 分类号 |
C23C16/50;C23C16/27;C23C16/511;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/31 |
主分类号 |
C23C16/50 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
