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发明名称 Process and composition for drying of gaseous hydrogen halides
摘要
申请公布号 US4853148(A) 申请公布日期 1989.08.01
申请号 US19870029631 申请日期 1987.03.24
申请人 ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. 发明人 TOM, GLENN M.;BROWN, DUNCAN W.
分类号 B01D53/28;B01J20/02;B01J20/22;C01B7/00;C01B7/07;C01B7/09;C01B7/13;C01B7/19;C01G1/06 主分类号 B01D53/28
代理机构 代理人
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