发明名称 PHOTO-ASSISTED CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION
摘要
申请公布号 IE831105(L) 申请公布日期 1983.11.13
申请号 IE19830001105 申请日期 1983.05.12
申请人 ENERGY CONVERSION DEVICE INC. 发明人
分类号 C23C;G03C1/74;(IPC1-7):G03C1/74 主分类号 C23C
代理机构 代理人
主权项
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