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发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH01191443(A) 申请公布日期 1989.08.01
申请号 JP19880014439 申请日期 1988.01.27
申请人 HITACHI LTD 发明人 AKIMORI HIROYUKI;HORIUCHI MITSUAKI;TSUNEOKA MASATOSHI;TOKUNAGA TAKAFUMI
分类号 H01L21/3213;H01L21/768 主分类号 H01L21/3213
代理机构 代理人
主权项
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