发明名称 GROWING METHOD FOR POLYCRYSTALLINE SILICON
摘要
申请公布号 JPH01191413(A) 申请公布日期 1989.08.01
申请号 JP19880014745 申请日期 1988.01.27
申请人 NEC CORP 发明人 NAKAYA TSUNEJI
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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