发明名称 SEMICONDUCTOR CAPACITANCE ELEMENT AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH01189950(A) 申请公布日期 1989.07.31
申请号 JP19880016125 申请日期 1988.01.26
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 IKEGAMI MASAAKI;HIGUCHI TETSUO
分类号 H01L27/04;H01L21/822 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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