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发明名称 MANUFACTURE OF FIELD-EFFECT TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPH01189967(A) 申请公布日期 1989.07.31
申请号 JP19880013531 申请日期 1988.01.26
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 YOSHIDA HIROSHI;MOCHIZUKI MASAO
分类号 H01L29/812;H01L21/338;H01L29/80 主分类号 H01L29/812
代理机构 代理人
主权项
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