| 发明名称 |
CATHODE FOR PLASMA GENERATION |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH01189899(A) |
申请公布日期 |
1989.07.31 |
| 申请号 |
JP19880013984 |
申请日期 |
1988.01.25 |
| 申请人 |
RIKAGAKU KENKYUSHO |
发明人 |
HAMAGAKI MANABU;HARA TAMIO;AOYANAGI KATSUNOBU;NANBA SUSUMU |
| 分类号 |
H05H1/24;H01J27/20;H01J37/08;H05G1/00 |
主分类号 |
H05H1/24 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
