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发明名称
摘要
申请公布号 JPH0136347(B2) 申请公布日期 1989.07.31
申请号 JP19810188520 申请日期 1981.11.26
申请人 ITT 发明人 ARUBUREHITO GERURATSUHA
分类号 H01L21/8238;H01L27/06;H01L27/08;H01L27/092;H01L29/861;H02M7/04;H02M7/12;H02M7/219 主分类号 H01L21/8238
代理机构 代理人
主权项
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