| 主权项 |
1.一种起精密磨床,包括有一底板及一附设在加工头装置上之研磨工具,该加工头装置系设置在该区板之上方,俾使该研磨工具得水平地自由微振动,该研磨工具系适宜与装设在该底板上之工作物之工作部份衔合,其中,该工作物系可于任意水平方向自由移动并可自由转动者。2.如请求专利部份第1.项之起精密磨床,其中,该工作物系设置在一滑动机台上,该滑动机台系藉多数之滚珠装设在该底板上,俾可自由移动者。3.如请求专利部份第1.项之起精密磨床,其中,该研磨工具系可于水平方向自由且相当大幅度地移动者。4.如请求专利部份第1.项之起精密磨床,该超精密磨床尚支持着一臂件以便自由移动,该臂件系支持着配备有该研磨工具之加工头装置者。5.如请求专利部份第1.项之起精密磨床,其中,该研磨工具之装设方式,系使其微振动之振幅得自由调整者。6.如请求专利部份第5.项之起精密磨床,其中,该研磨工具系以可转动自如且与一偏心圆盘形成偏心之方式设置,该偏心圆盘系附设在该加工头装置之转轴上,俾使偏心位置得自由调整者。7.如请求专利部份第1.项之起精密磨床,其中,该研磨工具之装设方式,系使其得周期且垂直地移动者。8.如请求专利部份第1.项之起精密磨床,其研磨工作台具有:一支持滑动机台用之Y机台,该Y机台系可于Y轴方向自由移动;以及一支持该Y机台用之X机台,该X机台系可于X轴方i向自由移动者。 |
