发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01189935(A) 申请公布日期 1989.07.31
申请号 JP19880015579 申请日期 1988.01.26
申请人 SONY CORP 发明人 HAYASHI HISAO
分类号 H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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