发明名称 MANUFACTURE OF COMPOUND SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01189960(A) 申请公布日期 1989.07.31
申请号 JP19880013530 申请日期 1988.01.26
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 UCHITOMI NAOTAKA
分类号 H01L29/872;H01L21/265;H01L21/318;H01L21/3205;H01L21/338;H01L23/52;H01L29/47;H01L29/78;H01L29/80;H01L29/812 主分类号 H01L29/872
代理机构 代理人
主权项
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