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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01189133(A) 申请公布日期 1989.07.28
申请号 JP19880014052 申请日期 1988.01.23
申请人 SONY CORP 发明人 HAYASHI HISAO
分类号 H01L21/762;H01L21/31;H01L21/76;H01L21/8238;H01L27/08;H01L27/092 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
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