| 发明名称 |
MANUFACTURE OF COMPOUND SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH01187876(A) |
申请公布日期 |
1989.07.27 |
| 申请号 |
JP19880010760 |
申请日期 |
1988.01.22 |
| 申请人 |
AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL |
发明人 |
IMAMURA YOSHINORI;MIYAZAKI MASARU;MATSUOKA NAOYUKI;OGINO TETSURO;YANAGISAWA HIROSHI |
| 分类号 |
H01L29/41;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L21/338;H01L29/80;H01L29/812 |
主分类号 |
H01L29/41 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
