发明名称 CAPACITOR AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH01187848(A) 申请公布日期 1989.07.27
申请号 JP19880010637 申请日期 1988.01.22
申请人 HITACHI LTD 发明人 IIJIMA SHINPEI;MINE TOSHIYUKI;KOBAYASHI TAKASHI;YOSHIGAMI JIRO;HIRAIWA ATSUSHI
分类号 H01L23/52;H01L21/3205;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/04 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
主权项
地址