发明名称 |
CAPACITOR AND MANUFACTURE THEREOF |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH01187848(A) |
申请公布日期 |
1989.07.27 |
申请号 |
JP19880010637 |
申请日期 |
1988.01.22 |
申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
IIJIMA SHINPEI;MINE TOSHIYUKI;KOBAYASHI TAKASHI;YOSHIGAMI JIRO;HIRAIWA ATSUSHI |
分类号 |
H01L23/52;H01L21/3205;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/04 |
主分类号 |
H01L23/52 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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