| 发明名称 |
METHOD OF FORMING SUPERCONDUCTING OXIDE FINE PATTERN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01187886(A) |
申请公布日期 |
1989.07.27 |
| 申请号 |
JP19880010647 |
申请日期 |
1988.01.22 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
IMAZEKI SHUJI;TOMIOKA YASUSHI;NAITO MASAMI |
| 分类号 |
H01L39/24;C01G1/00;C01G3/00;C23C14/04;C23C14/08;H01B13/00 |
主分类号 |
H01L39/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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