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发明名称 THIN FILM-FORMING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH01188674(A) 申请公布日期 1989.07.27
申请号 JP19880010260 申请日期 1988.01.20
申请人 ISHIKAWAJIMA HARIMA HEAVY IND CO LTD 发明人 MORI KAZUMI
分类号 C23C16/04 主分类号 C23C16/04
代理机构 代理人
主权项
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