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发明名称
VERFAHREN ZUR PLASMAAKTIVIERTEN REAKTIVEN ABSCHEIDUNG VON ELEKTRISCH LEITENDEM MEHRKOMPONENTENMATERIAL AUS EINER GASPHASE
摘要
申请公布号
DE3800712(A1)
申请公布日期
1989.07.27
申请号
DE19883800712
申请日期
1988.01.13
申请人
PHILIPS PATENTVERWALTUNG GMBH, 2000 HAMBURG, DE
发明人
GAERTNER, GEORG, DR., 5100 AACHEN, DE;JANIEL, PETER, 5102 WUERSELEN, DE;LYDTIN, HANS, DR., 5190 STOLBERG, DE
分类号
C23C16/06;C23C16/08;C23C16/18;C23C16/50;C23C16/509;C23C16/52
主分类号
C23C16/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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