| 摘要 |
Beschrieben wird ein Reaktor für MOCVD-Anlagen, mit einem Reaktionsgefäß, das von dem bzw. den Reaktionsgasen durchströmt wird, und in dem die Substrate derart angeordnet sind, daß eine Hauptoberfläche in etwa parallel zur Strömungsrichtung ist. Der erfindungsgemäße Reaktor zeichnet sich durch die Kombination folgender Merkmale aus: das Reaktionsgefäß (1) besteht in an sich bekannter Weise aus Quarzglas und weist wenigstens in dem Bereich, in dem di Reaktionsgase strömen, einen rechteckigen Querschnitt auf, am Gas-eintrittsseitigen Ende des Reaktionsgefäßes ist ein Flanschelement (3) vorgesehen, ein Schutzrohr (2) umgibt das Reaktionsgefäß, das Schutzrohr weist einen stirnseitigen Reaktionsgaseinlaß (5), der mit einem Flanschelement (4) verbunden ist, an das das Flanschelement (3) des Reaktionsgefäßes anflanschbar ist, und in der Mantelfläche einen Schutzgaseinlaß (6), der das Spülen des Raumes zwischen Reaktionsgefäß und Schutzrohr erlaubt, und einen Reaktionsgasauslaß (7) auf, die Reaktionsgase werden in dem Reaktionsgefäß umgelenkt und treten durch die Mantelfläche des Reaktionsgefäßes aus, an dem dem Gas-eintrittsseitigen Ende entgegengesetzten Ende des Reaktionsgefäßes ist eine Diffusionssperre vorgesehen. Abstract A reactor for MOCVD installations has a reaction vessel through which the reaction gas(es) flow and in which the substrate is arranged in such a manner that a principal surface is approximately parallel to the direction of flow. The reactor is characterized by the combination of the following features: the reaction vessel (1) is made in a known way of quartz glass and has, at least in the region in which the reaction gases flow, a rectangular cross-section, a flange element (3) is provided at the gas inlet end of the reaction vessel, the reaction vessel is surrounded by a protective tube, the protective tube has a reaction gas inlet (5) on the front end, which is connected to a flange element (4), to which the flange element (3) of the reaction vessel can be flanged and, in the surface shell, a protective gas inlet (6) which permits flushing of the space between the reation vessel and the protective tube, and a reaction gas outlet (7), the reaction gases are deflected in the reaction vessel and emerge through the surface shell of the reaction vessel, a diffusion barrier is provided at the end of the reaction vessel opposite the gas inlet end. |
