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发明名称 VERFAHREN UND ANORDNUNG ZUR SCHICHTDICKEN- UND AETZTIEFENBESTIMMUNG
摘要
申请公布号 DD270365(A1) 申请公布日期 1989.07.26
申请号 DD19880313906 申请日期 1988.03.23
申请人 INGENIEURHOCHSCHULE MITTWEIDA,DD 发明人 ZIMMER,KLAUS,DD;REISSE,GUENTER,DD;ZSCHERPE,GERHARD,DD;GAENSICKE,FRANK,DD
分类号 G01B11/30;H01L21/66;(IPC1-7):G01B11/30 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
主权项
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