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发明名称 MICRO-POSITIONING METHOD
摘要
申请公布号 JPH01186742(A) 申请公布日期 1989.07.26
申请号 JP19880007970 申请日期 1988.01.18
申请人 AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL;SEIKO INSTR & ELECTRON LTD 发明人 BANDO HIROSHI;TOKUMOTO HIROSHI;WAKIYAMA SHIGERU;MIYATA CHIKAYOSHI;SAKAI FUMIKI
分类号 H01J37/20;G01N37/00;G01Q10/02;G01Q90/00;G05D3/00;H01J37/28 主分类号 H01J37/20
代理机构 代理人
主权项
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