| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01186624(A) |
申请公布日期 |
1989.07.26 |
| 申请号 |
JP19880005876 |
申请日期 |
1988.01.14 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRON CORP |
发明人 |
MATSUMURA TAKASHI;MORINAGA MINORU |
| 分类号 |
G03F9/00;H01L21/027;H01L21/28;H01L21/30;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205 |
主分类号 |
G03F9/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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