发明名称 PREPARATION OF PASSIVATION FILM OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01186627(A) 申请公布日期 1989.07.26
申请号 JP19880006244 申请日期 1988.01.14
申请人 ROHM CO LTD 发明人 NEGORO TAKAAKI
分类号 H01L21/316;H01L21/31 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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