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发明名称
PREPARATION OF PASSIVATION FILM OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH01186627(A)
申请公布日期
1989.07.26
申请号
JP19880006244
申请日期
1988.01.14
申请人
ROHM CO LTD
发明人
NEGORO TAKAAKI
分类号
H01L21/316;H01L21/31
主分类号
H01L21/316
代理机构
代理人
主权项
地址
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