发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01186658(A) 申请公布日期 1989.07.26
申请号 JP19880005914 申请日期 1988.01.14
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 GOTO MAKIO
分类号 H01L21/768;H01L21/336;H01L29/78 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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