发明名称 |
BLANKING DEVICE FOR ELECTRON BEAM DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH01186741(A) |
申请公布日期 |
1989.07.26 |
申请号 |
JP19880009037 |
申请日期 |
1988.01.18 |
申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
NOGUCHI HIROSHI;MURAKAMI EISHIN |
分类号 |
H01J37/147;B23K15/00;H01L21/027 |
主分类号 |
H01J37/147 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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