| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01185919(A) |
申请公布日期 |
1989.07.25 |
| 申请号 |
JP19880009460 |
申请日期 |
1988.01.21 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD;FUJITSU VLSI LTD |
发明人 |
MORI HARUHISA;NAWATA TAKAHARU;IGARASHI TAKASHI;YOKIASHI HIROMICHI;NAKAJIMA KAZUJI |
| 分类号 |
H01L29/73;H01L21/265;H01L21/266;H01L21/331;H01L21/74;H01L21/8222;H01L27/06;H01L29/72 |
主分类号 |
H01L29/73 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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