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经营范围
发明名称
Sputter module for modular wafer processing machine
摘要
申请公布号
US4851101(A)
申请公布日期
1989.07.25
申请号
US19870098572
申请日期
1987.09.18
申请人
VARIAN ASSOCIATES, INC.
发明人
HUTCHINSON, MARTIN A.
分类号
H01L21/677;C23C14/56;H01L21/203
主分类号
H01L21/677
代理机构
代理人
主权项
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