发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01185932(A) 申请公布日期 1989.07.25
申请号 JP19880011219 申请日期 1988.01.21
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 SEKI HIROAKI;NAKAMURA TAEKO
分类号 H01L21/60;H01L23/50 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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