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经营范围
发明名称
ION BEAM MACHINE
摘要
申请公布号
JPH01186288(A)
申请公布日期
1989.07.25
申请号
JP19880009041
申请日期
1988.01.18
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
NUSHIHARA AKIRA;HISAOKA YASUSHI
分类号
B23K15/00;H01J37/305
主分类号
B23K15/00
代理机构
代理人
主权项
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