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发明名称 MANUFACTURE OF MIS SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01185950(A) 申请公布日期 1989.07.25
申请号 JP19880011338 申请日期 1988.01.21
申请人 NEC CORP 发明人 KOMATSU MICHIO
分类号 H01L23/522;H01L21/768;H01L29/78 主分类号 H01L23/522
代理机构 代理人
主权项
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