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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01184832(A) 申请公布日期 1989.07.24
申请号 JP19880005301 申请日期 1988.01.13
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 MURAI SHIGEYUKI;INOUE DAIJIRO
分类号 H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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