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发明名称 CLOCK WIRING PROCESS
摘要
申请公布号 JPH01184937(A) 申请公布日期 1989.07.24
申请号 JP19880008269 申请日期 1988.01.20
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 TANAKA ATSUSHI
分类号 H01L21/822;G06F17/50;H01L21/82;H01L27/04 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
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