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发明名称 WAFER PROBER
摘要
申请公布号 JPH01184932(A) 申请公布日期 1989.07.24
申请号 JP19880008319 申请日期 1988.01.20
申请人 HITACHI LTD 发明人 HIDA KENJI;TAKAGI RYUICHI;SATO KAZUYOSHI
分类号 G01R31/28;G01R1/073;H01L21/66 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
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