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发明名称 PLASMA PROCESSOR USEFUL FOR ETCHING, ASHING, FILM FORMATION AND THE LIKE
摘要
申请公布号 JPH01184921(A) 申请公布日期 1989.07.24
申请号 JP19880010080 申请日期 1988.01.20
申请人 CANON INC 发明人 HASEGAWA YASUO;SATO YASUE
分类号 H05H1/46;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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