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发明名称 OPTICAL THIN-FILM PRODUCTION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01183810(A) 申请公布日期 1989.07.21
申请号 JP19880009295 申请日期 1988.01.19
申请人 BABCOCK HITACHI KK 发明人 SHICHIDA HIROYUKI;SAKODA KOTARO
分类号 H01L21/205;H01L21/263;H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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