发明名称 APPARATUS FOR COATING LIQUID
摘要
申请公布号 JPH01184073(A) 申请公布日期 1989.07.21
申请号 JP19880007751 申请日期 1988.01.18
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 TAKEGAWA HIROZO;ASO SHINICHI;INAMI TAKASHI;NISHIWAKI FUMITOSHI;AKUTAGAWA RYUTARO;SHIMIZU TOKIHIKO
分类号 B05C11/08;B05C1/02;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 B05C11/08
代理机构 代理人
主权项
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