发明名称 JIG STRUCTURE FOR CHEMICAL VAPOR DEPOSITION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01183808(A) 申请公布日期 1989.07.21
申请号 JP19880008894 申请日期 1988.01.19
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 KOBAYASHI YUKIHARU
分类号 H01L21/205;H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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