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经营范围
发明名称
JIG STRUCTURE FOR CHEMICAL VAPOR DEPOSITION DEVICE
摘要
申请公布号
JPH01183808(A)
申请公布日期
1989.07.21
申请号
JP19880008894
申请日期
1988.01.19
申请人
SEIKO EPSON CORP
发明人
KOBAYASHI YUKIHARU
分类号
H01L21/205;H01L21/31
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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