发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR PRODUCING FILM WITH REACTIVE PLASMA BEAM
摘要
申请公布号 JPH01184273(A) 申请公布日期 1989.07.21
申请号 JP19880008090 申请日期 1988.01.18
申请人 TOBI CO LTD 发明人 NOMACHI TETSUYA;KONNO MASANORI
分类号 C23C14/24 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
地址