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发明名称 SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01184275(A) 申请公布日期 1989.07.21
申请号 JP19880008061 申请日期 1988.01.18
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 OKUDA AKIRA;KUBO EIZO
分类号 C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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