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发明名称 VACUUM DEPOSITION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01184270(A) 申请公布日期 1989.07.21
申请号 JP19880007010 申请日期 1988.01.18
申请人 MITSUBISHI HEAVY IND LTD;NISSHIN STEEL CO LTD 发明人 FURUKAWA HEIZABURO;AIKO TAKUYA;MORIYAMA YOSHITERU
分类号 C23C14/24;C23C14/56 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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