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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR MEASURING THICKNESS OF SEMICONDUCTOR LAYER
摘要
申请公布号 JPH01182711(A) 申请公布日期 1989.07.20
申请号 JP19880006633 申请日期 1988.01.14
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 NAKANO YOSHINORI;TSUZUKI NOBUYORI
分类号 G01B11/06 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
主权项
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