OPTICAL WINDOW FOR VACUUM CHAMBER,申请号JP19880007720-传众专利搜索

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发明名称	OPTICAL WINDOW FOR VACUUM CHAMBER
摘要
申请公布号	JPH01183122(A)	申请公布日期	1989.07.20
申请号	JP19880007720	申请日期	1988.01.18
申请人	FUJITSU LTD	发明人	WAKANA SHINICHI;SUETAKE MIKIO
分类号	H01L21/302;H01L21/205;H01L21/3065	主分类号	H01L21/302
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