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发明名称 METHOD OF MONITORING GAS FLOW FOR VAPOR PHASE GROWTH
摘要
申请公布号 JPH01181412(A) 申请公布日期 1989.07.19
申请号 JP19880002618 申请日期 1988.01.11
申请人 FUJITSU LTD 发明人 OBA TAKAYUKI
分类号 H01L21/205;C23C16/44;C23C16/455;H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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