发明名称 SUBSTRATE HEATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01181966(A) 申请公布日期 1989.07.19
申请号 JP19880005150 申请日期 1988.01.13
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 SUZUKI NAOKI;NAKA HIROYUKI;HIRONO TOMOHIDE;ICHIYANAGI TAKASHI;SAITO SUSUMU;NAITO TAKAO
分类号 F27B9/30;B23K1/008;B23K1/012;B23K3/04;H05K3/34 主分类号 F27B9/30
代理机构 代理人
主权项
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