发明名称 SOI TYPE FIELD EFFECT TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPH01181569(A) 申请公布日期 1989.07.19
申请号 JP19880004510 申请日期 1988.01.12
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 YAZAKI MASATOSHI
分类号 H01L21/20;H01L21/336;H01L27/00;H01L27/12;H01L29/78;H01L29/786 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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