发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01181449(A) 申请公布日期 1989.07.19
申请号 JP19880002875 申请日期 1988.01.08
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 FUJII TOYOKAZU;KAKIUCHI TAKAO;FUJITA TSUTOMU;YAMAMOTO HIROSHI
分类号 H01L21/28;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/768 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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