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Es wird ein positiv arbeitendes strahlungsempfindliches Gemisch vorgeschlagen, welches eine Verbindung, die unter Einwirkung von aktinischer Strahlung eine Säure bildet, sowie eine Verbindung, die durch Säure spaltbar ist, enthält, und das dadurch gekennzeichnet ist, daß die Verbindung, die durch Säure spaltbar ist, eine Silylenolethergruppierung aufweist. Das beschriebene strahlungsempfindliche Gemisch weist eine verbesserte Lagerfähigkeit als der Stand der Technik und eine hohe Strukturauflösung auf.
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