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经营范围
发明名称
DIFFUSION DEVICE
摘要
申请公布号
JPH01181514(A)
申请公布日期
1989.07.19
申请号
JP19880003619
申请日期
1988.01.11
申请人
TOSHIBA CORP
发明人
OKUTSU KINNOSUKE;WATANABE KAZUO
分类号
H01L21/223
主分类号
H01L21/223
代理机构
代理人
主权项
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